LIF 471V / LIF 481V

Maßstab

LIF 401 R

Maßverkörperung*

Längenausdehnungskoeffizient

SUPRADUR-Phasengitter auf Zerodur-Glaskeramik oder Glas; Teilungsperiode 8 µm

αtherm = (0±0,1) · 10–6 K–1 (Zerodur-Glaskeramik); αtherm  8 · 10–6 K–1 (Glas)

Genauigkeitsklasse

±3 µm

Basisabweichung

≤ ±0,225 µm/5 mm

Messlänge ML* in mm

70 120 170 220 270 320 370 420 470 520 570 620 670

720 770 820 870 920 970 1020 1140 1240 1340 1440 1540 1640

Referenzmarken

eine in der Mitte der Messlänge

Masse

0,8 g + 0,08 g/mm Messlänge

Abtastkopf

LIF 48 V

LIF 47 V

Schnittstelle

  1 VSS

 TTL

integrierte Interpolation*

Signalperiode

–

4 µm

5fach

0,8 µm

10fach

0,4 µm

20fach

0,2 µm

50fach

0,08 µm

100fach

0,04 µm

Grenzfrequenz –3 dB

≥ 1 MHz

–

Abtastfrequenz*

–

≤ 500 kHz

≤ 250 kHz

≤ 125 kHz

≤ 250 kHz

≤ 125 kHz

≤ 62,5 kHz

≤ 250 kHz

≤ 125 kHz

≤ 62,5 kHz

≤ 100 kHz

≤ 50 kHz

≤ 25 kHz

≤ 50 kHz

≤ 25 kHz

≤ 12,5 kHz

Flankenabstand a

–

≥ 0,080 µs

≥ 0,175 µs

≥ 0,370 µs

≥ 0,080 µs

≥ 0,175 µs

≥ 0,370 µs

≥ 0,040 µs

≥ 0,080 µs

≥ 0,175 µs

≥ 0,040 µs

≥ 0,080 µs

≥ 0,175 µs

≥ 0,040 µs

≥ 0,080 µs

≥ 0,175 µs

Verfahrgeschwindigkeit1)

≤ 240 m/min

≤ 120 m/min

≤ 60 m/min

≤ 30 m/min

≤ 60 m/min

≤ 30 m/min

≤ 15 m/min

≤ 60 m/min

≤ 30 m/min

≤ 15 m/min

≤ 24 m/min

≤ 12 m/min

≤ 6 m/min

≤ 12 m/min

≤ 6 m/min

≤ 3 m/min

Interpolationsabweichung

Positionsrauschen RMS

±12 nm

0,6 nm (1 MHz2))

–

Elektrischer Anschluss*

• Schnittstellen-Elektronik außerhalb des Hochvakuums:
  Kabel 0,5 m, 1 m, 2 m oder 2,5 m bis Hochvakuum-Durchführung; Kabel 0,5 m bis Stecker Sub-D, 15-polig, mit integrierter Schnittstellen-Elektronik
• Schnittstellen-Elektronik im Hochvakuum:
  Kabel 0,5 m, 1 m, 2 m oder 3 m mit Stecker Sub-D, 15-polig, Schnittstellen-Elektronik im Stecker ­integriert

Kabellänge

siehe Schnittstellenbeschreibung, jedoch
Inkremental: ≤ 30 m; Homing, Limit: ≤ 10 m; (mit HEIDENHAIN-Kabel)

Versorgungsspannung

Stromaufnahme

< 150 mA

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz

Schock 11 ms

≤ 400 m/s2 (EN 60068-2-6)

≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur

0 °C bis 50 °C

Ausheiztemperatur

100 °C

Platinenmaterial

FR4

Masse Abtastkopf

Anschlusskabel

Stecker

9 g

38 g/m

75 g