LIP 481V / LIP 481U

Technische Kennwerte

LIP 481 V

LIP 481 U

Einsatzgebiet

Hochvakuum, bis 1 · 10–7 mbar

Ultrahochvakuum, bis 1 · 10–11 mbar

Maßverkörperung*

Längenausdehnungskoeffizient

SUPRADUR-Phasengitter auf Glas- oder Zerodur-Glaskeramik

Glas: αtherm  8 · 10–6 K–1; Zerodur-Glaskeramik: αtherm  (0 ± 0,1) · 10–6 K–1

Genauigkeitsklasse*

±1 µm, ±0,5 µm

Basisabweichung

≤ ±0,175 µm/5 mm

Messlänge ML* in mm

70 120 170 220 270 320 370 420

Referenzmarken

eine in der Mitte der Messlänge

Ausgangssignale

  1 VSS

Signalperiode

2 µm

Grenzfrequenz –3 dB

≥ 300 kHz

Verfahrgeschwindigkeit

36 m/min

Interpolationsabweichung

Positionsrauschen RMS

±7 nm

2 nm (450 kHz)

Versorgungsspannung

Stromaufnahme

DC 5 V ±5%

< 190 mA

Elektrischer Anschluss

Stecker Sub-D, Stift, 15-polig; Schnittstellen-Elektronik im Stecker integriert

Gehäusedurchführung* ­(siehe Seite 4)

ohne (Schnittstellen-Elektronik im Vakuum)

Sub-D (nicht im Lieferumgang; Schnittstellen-­Elektronik außerhalb Vakuum)

Kabellänge Abtastkopf bis APE*

0,5 m oder 1 m

0,5 m oder 1 m bis Gehäusedurchführung und 0,5 m bis APE

Andere Kabellängen auf Anfrage; jedoch ≤ 3 m zwischen Abtastkopf und APE

Kabellänge nach APE

≤ 20 m (mit HEIDENHAIN-Kabel)

Vibration 55 Hz bis 2000 Hz

Schock 11 ms

≤ 200 m/s2 (EN 60068-2-6)

≤ 500 m/s2 (EN 60068-2-27)

Arbeitstemperatur

0 °C bis 40 °C

Ausheiztemperatur

100 °C

120 °C

Materialien

Platine: Keramik

Klebstoffe: UHV-fähig, temperaturbeständig

Masse Abtastkopf

Stecker

Maßstab

Anschlusskabel

50 g (ohne Anschlusskabel)

32 g; mit integrierter Anpass-Elektronik: 140 g

5,6 g + 0,2 g/mm Messlänge

38 g/m

* Bei Bestellung bitte auswählen