Baureihe LIP/LIF zum Einsatz im Hoch- und Ultrahochvakuum

	Genauigkeits-klasse	im Intervall
Typ	Basisabweichung		Teilungsträger und Montage	Interpolations-abweichung	Messlänge
LIP 481V LIP 481U	± 0,5 μm ± 1 μm	≤ ± 0,175 μm/ 5 mm	Maßstab aus Zerodur-Glaskeramik oder Glas, mit Spannpratzen geklemmt	± 7 nm	70 mm bis 420 mm
LIF 471V LIF 481V	± 3 μm	≤ ± 0,225 μm/ 5 mm		± 12 nm	70 mm bis 1640 mm
LIC 4113 V LIC 4193 V	±1 μm (nur für Robax-Glaskeramik) ±3 μm ±5 μm	≤ ±0,275 μm/10 mm	METALLUR-Gitterteilung auf Glaskeramik oder Glas	± 20 nm	240 mm bis 3040 mm