Mit 0,1 µm Genauigkeit und 0,03 µm Wiederholpräzision ermöglicht der HEIDENHAIN-CERTO-Messtaster die genaueste Messung über einen Weg von 60 mm, die am Markt verfügbar ist. Im Messprotokoll wird ein Wert für die lineare Fehlerkompensation angegeben. Zusammen mit der Auswerte-Elektronik ND 287 ist dann eine Genauigkeit von +/-0,05 µm erreichbar.

Durch die Verwendung des empfohlenen Statives CS 200 wird sogar ein thermisch invarianter Messzirkel erreicht. Da Stativ und HEIDENHAIN-CERTO-Mechanik aus Invar (Ausdehnung 1 ppm/K) bestehen und der Maßstab mit 2 µm Signalperiode aus ZERODUR (Ausdehnung 0,1 ppm/K) hergestellt ist, beeinflussen kleine, in der Regel unvermeidbare Temperaturschwankungen die Genauigkeit nicht. Bei hochgenauen Messungen wie z. B. bei Endmaß-Prüfplätzen kann über das optionale Analogmodul die Temperaturabweichung von 20 °C des Werkstücks bzw. des ganzen Aufbaus kompensiert werden.

Bei taktilen Messungen in dieser Genauigkeit kann eine Unebenheit beim Nullen des Messtasters das Messergebnis schon beeinflussen. Aus diesem Grund erfüllt das Stativ CS 200 besondere Anforderungen an die Ebenheit von 0,6 µm in der für die Messung entscheidenden Fläche. Bei noch höheren Anforderungen an die Ebenheit kann die Keramikauflage mit Vakuumansaugung verwendet werden. Dieses Zubehör ist mit 0,1 µm Ebenheit spezifiziert.

Der elektrische Antrieb ermöglicht drei Messkräfte und eine sehr konstante Antastkraft über die gesamte Messlänge. Der Wärme-Eintrag durch den Bediener wird auf ein Minimum reduziert.