SEMICON KOREA 2019:
So klein kann Genauigkeit sein

In Anwendungen wie der Halbleiterfertigung kommt es bei der Positionsmessung auf Genauigkeit, Zuverlässigkeit und Dynamik an. Dafür stellte HEIDENHAIN auf der SEMICON KOREA innovative Lösungen vor, die neue Maßstäbe setzen.

So sind das LIP 6000 von HEIDENHAIN, das MC 15 von RSF und das LIKgo von NUMERIK JENA die kompaktesten Längenmessgeräte ihrer Klassen:

  • Messschritte bis 1 nm, 0,05 µm bzw. 1 µm
  • Große Einbauflexibilität unter beengten Platzverhältnissen
  • Geringe Maße der Abtastköpfe
  • Dynamische Messungen bei hohen Verfahrgeschwindigkeiten und starker Beschleunigung

Das VULCANO XY-System von ETEL ist ein hochintegriertes Bewegungssystem in Portalbauweise. Es überzeugt in Anwendungen, in denen es auf besonders hohe Dynamik und Positioniergenauigkeit ankommt. Seine besonderen Vorteile und Merkmale sind:

  • Niedrige Betriebskosten
  • Integrierte, hochauflösende optische HEIDENHAIN-Winkelmessgeräte
  • Modular erweiterbar, z. B. um das QuiET active isolation system zur Schwingungsisolation