Präzisionsteilungen - die Grundlage für hohe Genauigkeit
HEIDENHAIN-Messgeräte beinhalten als wesentliche Bestandteile Maßverkörperungen, meist in der Form von Strichgittern mit typischen Strukturbreiten von 0,25 µm bis 10 µm. Diese Präzisionsteilungen werden nach von HEIDENHAIN entwickelten Verfahren (z.B. DIADUR oder AURODUR) hergestellt und sind bestimmend für die Funktion und die Genauigkeit der Messgeräte. Sie bestehen aus Strichen und Lücken, deren definierte Abstände nur geringste Abweichungen aufweisen und deren Strukturen hohe Kantenschärfe besitzen. Die Teilungen sind widerstandsfähig gegen mechanische und chemische Einwirkungen und unempfindlich gegen Vibrations- und Schockbelastungen und haben ein definiertes thermisches Verhalten.
| Phasengitter-Teilungen | Mit speziellen Herstellungsprozessen lassen sich auch dreidimensionale Gitterstrukturen herstellen, die spezielle optische Eigenschaften besitzen. Ihre Strukturbreiten liegen im Bereich von wenigen Mikrometern bis hinab zu viertel Mikrometern. |
| SUPRADUR | Nach dem SUPRADUR-Verfahren hergestellte Teilungen wirken optisch wie dreidimensionale Phasengitter, besitzen aber eine planare Struktur und sind daher besonders unempfindlich gegen Verschmutzung. |
| MAGNODUR | Für feinste magnetisierte Teilungen werden magnetisch aktive, dünne Schichten im Mikrometerbereich strukturiert. |
| DIADUR | Die Teilungsstrukturen der DIADUR-Präzisionsteilungen werden durch eine extrem dünne Chromschicht auf einen Träger - meist Glas oder Glaskeramik - realisiert, wobei die Genauigkeiten der Teilungsstrukturen im Mikrometer-Bereich und darunter liegen. |
| AURODUR | AURODUR-Teilungen bestehen aus hochreflektierenden Goldstrichen und mattgeätzten Lücken. Diese Teilungen befinden sich meist auf Stahlträgern. |
| METALLUR | METALLUR-Teilungen besitzen durch ihren speziellen optischen Aufbau aus reflektierenden Goldschichten eine nahezu planare Struktur. Sie sind daher besonders unempfindlich gegen Verschmutzungen. |
