KGM 181

KGM 182

Maßverkörperung

Zwei-Koordinaten-TITANID-Phasengitter-Teilung auf Glas (Kreuzgitter)

Zwei-Koordinaten-TITANID-Phasengitter-Teilung auf Glas (Kreuzgitter)

therm. Längenausdehnungs-Koeffizient

α_therm = 8 · 10^-6 K^-1

α_therm = 8 · 10^-6 K^-1

Genauigkeitsklasse

± 2 µm

± 2 µm

Messbereich

ø 140 mm

ø 230 mm

Ausgangssignale

1 V_ss

1 V_ss

Signalperiode

4 µm in Messrichtung I und II

4 µm in Messrichtung I und II

empfohlener Messschritt

≥ 0,001 µm (IK 220)

≥ 0,001 µm (IK 220)

Spannungsversorgung

5V ±5%/< 100 mA (je Achse)

5V ±5%/< 100 mA (je Achse)

Aufnahme

Abtastkopf ø 20h7

Abtastkopf ø 20h7

Max. Verfahrgeschwindigkeit

≤ 80 m/min

≤ 80 m/min

Auswerte-Elektronik (Im Lieferumfang enthalten)

PC-Zählerkarte IK 220

PC-Zählerkarte IK 220

Auswerte-Software (Im Lieferumfang enthalten)

ACCOM

ACCOM

Elektrischer Anschluss

• Kabel 0,5 m mit Sub-D-Stecker (15-polig); Anpass- und Schnittstellen-Elektronik im Stecker integriert

• sep. Adapterkabel, Länge 3 m, zum Anschluss an IK 220

• Kabel 0,5 m mit Sub-D-Stecker (15-polig); Anpass- und Schnittstellen-Elektronik im Stecker integriert

• sep. Adapterkabel, Länge 3 m, zum Anschluss an IK 220

Masse

Messplatte ca. 4,0 kg
Abtastkopf ca. 0,6 kg

Messplatte ca. 3,1 kg
Abtastkopf ca. 0,6 kg